真空電子束焊接方法
來源：http://www.superlee.com.cn/news_article?news_id=138 發布時間：2021-11-11
真空電子束焊接方法：真空電子束焊接工藝是將被焊工件置于真空環境中使用定向高速運動的 電子束流撞擊工件使動能轉化為熱能而使工件熔化進行焊接的辦法，由于電 子束高的能量密度使焊縫較窄，深寬比大，焊接應力和變形較小，在半導體 的濺射領域得到了廣泛的應用。
現有技術公開了一種焊接辦法，包含如下步驟（1）焊前預備清洗靶 材坯料和背板，并將其移至真空室內進行阻隔抽真空；（2）預熱焊縫；（3）實施第壹次真空電子束焊接；（4）把完成的靶材坯料組件進行真空保溫；（5）實施第貳次真空電子束焊接；（6）淬火對完成的耙材坯料組件取出真空室，進行急冷淬火。
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